阿斯麥ASML參展2022上海進(jìn)博會(huì)（圖片來源：鈦媒體App編輯拍攝）

(資料圖片)

經(jīng)過多日傳言，荷蘭最新的半導(dǎo)體出口管制新規(guī)如今塵埃落定。

6月30日，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥ASML公司（NASDAQ：ASML/AMS：ASML）發(fā)給鈦媒體App的一份聲明中證實(shí)：

荷蘭政府于今日（30日）頒布了有關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的新條例。根據(jù)新出口管制條例規(guī)定，ASML需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發(fā)運(yùn)最先進(jìn)的浸潤式DUV系統(tǒng)（即TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)）。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證，并將向ASML提供許可證所附條件的細(xì)節(jié)。

但ASML也表示，此次并不適用于所有浸潤式DUV設(shè)備，只涉及包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤式光刻系統(tǒng)。ASML強(qiáng)調(diào)，荷蘭政府新頒布的出口管制條例將于2023年9月1日生效，在此日期前，ASML可開始提交出口許可證申請。荷蘭政府將視具體情況批準(zhǔn)或拒絕這些申請。

據(jù)ASML 2021投資者日文件，NXT: 2000i及后續(xù)光刻系統(tǒng)半間距為38nm、對準(zhǔn)精度為2.0nm以內(nèi)，對應(yīng)是28nm至7nm先進(jìn)制程芯片的制造（基于芯片類型不同，也可用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中，具體看曝光次數(shù)）。基于此，業(yè)界普遍認(rèn)為，此次受限制的是10nm左右及以下的先進(jìn)工藝芯片制造。

“基于今日的公告，我們認(rèn)為這些管制條例不會(huì)對已發(fā)布的2023 年財(cái)務(wù)展望以及于2022年 11 月投資者日宣布的長期展望產(chǎn)生重大影響?！盇SML在對鈦媒體App的聲明中誓言，公司將繼續(xù)遵守適用的出口管制條例，其中包括荷蘭、歐盟及美國的出口管制條例。

這意味著，自2019年以來，ASML研發(fā)的最先進(jìn)極紫外光（EUV）設(shè)備已禁止銷往中國。如今限制更進(jìn)一步，ASML將對華限制出口深紫外（DUV）光刻機(jī)等半導(dǎo)體技術(shù)。中國公司或?qū)o法得到新的最先進(jìn)芯片所需的光刻機(jī)設(shè)備和軟件服務(wù)，這對于中國芯片行業(yè)發(fā)展有深遠(yuǎn)影響。

受消息影響，截至鈦媒體App發(fā)稿，ASML股價(jià)在阿姆斯特丹下跌1.26%，至660歐元/股，此前該股曾一度下跌3.8%。今年迄今為止，ASML荷蘭股票已上漲超過30%。

EUV光刻機(jī)

據(jù)悉，光刻機(jī)在芯片制造中扮演關(guān)鍵角色。

在半導(dǎo)體制造行業(yè)，DUV光刻機(jī)可以用于制造7nm及以上制程的芯片，涵蓋了大部分?jǐn)?shù)字芯片和幾乎所有的模擬芯片，隨著先進(jìn)制程向5nm及以下進(jìn)化，EUV成為未來光刻技術(shù)和先進(jìn)制程的核心，主要用于7nm及以下先進(jìn)芯片制造工藝，荷蘭ASML是唯一的供應(yīng)商。（詳見鈦媒體App前文：《美國要求荷蘭對華禁售ASML光刻機(jī)，對芯片國產(chǎn)化影響有多大？》）

作為歐洲最大的科技公司，ASML市值達(dá)2662.73億歐元，在芯片供應(yīng)鏈中占據(jù)著至關(guān)重要的地位。

財(cái)報(bào)顯示，以客戶工廠所在地區(qū)劃分，中國大陸是ASML第三大市場，2022年全年為ASML貢獻(xiàn)了29.16億歐元的收入，占總營收的14%。除中國大陸外，中國臺灣、韓國、美國、日本為前五大市場，2022年上半年貢獻(xiàn)的營收占比分別為42%、29%、7%、4%。而此次涉及的產(chǎn)品占ASML營收的34%以上。

自2018年起，美國政府多輪游說荷蘭政府，使得ASML陸續(xù)限制向中國出口EUV光刻機(jī)、部分先進(jìn)DUV光刻設(shè)備。2022年10月7日，美國升級對華半導(dǎo)體出口管制，要求美國供應(yīng)商若向中國本土芯片制造商出售尖端生產(chǎn)設(shè)備，生產(chǎn)18nm或以下的DRAM芯片、128層或以上的NAND閃存芯片、14nm或以下的邏輯芯片，必須申請?jiān)S可證并將受到嚴(yán)格審查。而且限制中國工廠進(jìn)口用于生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片所需的技術(shù)和設(shè)備等。隨后，美國希望與荷蘭一同實(shí)施新的出口管制政策。

今年3月，ASML公司向鈦媒體App證實(shí)，ASML將需要申請出口許可證才能發(fā)運(yùn)最先進(jìn)的浸潤式DUV系統(tǒng)。（詳見鈦媒體App前文：《光刻機(jī)巨頭ASML確認(rèn)將限制部分DUV設(shè)備等芯片技術(shù)出口到中國》）

如今，荷蘭政府再度頒布了有關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備出口管制新規(guī)，簡稱“先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備法規(guī)”。新規(guī)第二條要求，未經(jīng)部長許可，禁止從荷蘭出口先進(jìn)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。而由于引入許可證要求，預(yù)計(jì)一次性申請24個(gè)許可證，然后每年申請20個(gè)許可證。該法規(guī)涉及僅由荷蘭極少數(shù)公司制造的特定設(shè)備。

荷蘭新規(guī)還稱，如果出現(xiàn)許可證是根據(jù)不正確或不完整的信息頒發(fā)，未遵守許可證的規(guī)定、條件和限制，以及出于國家外交和安全政策的考慮下，荷蘭先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備許可證都可以被撤銷。

ASML對鈦媒體App表示，正如其在今年三月發(fā)布的消息中所述，這些新的出口管制條例針對對象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù)。荷蘭政府新頒布的出口管制條例將于2023年9月1日生效。ASML強(qiáng)調(diào)，公司長期展望的基礎(chǔ)是全球的長期需求和技術(shù)趨勢。

海關(guān)總署統(tǒng)計(jì)的中國進(jìn)口集成電路制造設(shè)備數(shù)據(jù)（百萬美元）

值得注意的是，據(jù)海關(guān)總署6月公布的數(shù)據(jù)，本輪荷蘭實(shí)施出口管制新規(guī)傳聞前后，今年5月，中國從荷蘭進(jìn)口大量的半導(dǎo)體與集成電路制造設(shè)備，總額達(dá)3.84億美元，年增長66.44%，使荷蘭取代日本成為中國最大的集成電路制造設(shè)備進(jìn)口國。

總體而言，2023年前5個(gè)月，荷蘭、日本、新加坡、美國和臺灣地區(qū)占中國集成電路制造設(shè)備進(jìn)口量的近90%。另外，馬來西亞是中國第六大芯片制造設(shè)備進(jìn)口國，其份額為中國進(jìn)口從2022年的5.68%，下降至2023年前5個(gè)月的1.68%。而作為主要的半導(dǎo)體制造設(shè)備出口國之一，馬來西亞產(chǎn)品出口量每年增長超過100%。（本文首發(fā)鈦媒體App，作者｜林志佳）

關(guān)鍵詞：