去年5月曝光的三星電子旗下半導(dǎo)體設(shè)備公司——SEMES公司前員工等7人因涉嫌將SEMES開發(fā)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)出售給中國企業(yè)而被起訴的案件又有了新進展。
(資料圖片僅供參考)
1月17日消息,據(jù)韓國媒體報道,韓國水原地方檢察廳16日宣布,已起訴包括三星電子旗下半導(dǎo)體設(shè)備公司——SEMES公司前研究人員,以及此次技術(shù)泄漏事件經(jīng)紀(jì)人在內(nèi)的五人,他涉嫌將SEMES開發(fā)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)出售給中國企業(yè),違反了韓國《產(chǎn)業(yè)技術(shù)保護法》和《防止不正當(dāng)競爭法》。在這五人中,有四人被捕,一人由于是被煽動而沒有被拘留。
△2020年6月,三星電子董事長李在镕視察SEMES天安工廠的生產(chǎn)線
報道稱,此次被正式起訴的五人包括一名前SEMES員工,他于2016年退出公司,并于2019年創(chuàng)辦了自己的公司。他涉嫌于2021年6月將通過將SEMES合作伙伴公司的首席執(zhí)行官獲得的“超臨界半導(dǎo)體清洗設(shè)備”的關(guān)鍵圖紙交給技術(shù)泄漏經(jīng)紀(jì)人。隨后該經(jīng)紀(jì)人將圖紙泄露給了中國廠商。
調(diào)查人員發(fā)現(xiàn),這位前SEMES員工和其他人在2019年12月至2022年7月期間通過出口20臺清潔設(shè)備與相關(guān)技術(shù)一同出售給了中國企業(yè)及研究機構(gòu),從中獲取了1193億韓元(約合人民幣6.5億元)的報酬。
去年曝光的消息顯示,這位前SEMES員工及相關(guān)人員在盜取SEMES公司技術(shù)后,制成14臺相同配置的半導(dǎo)體清洗設(shè)備,與相關(guān)技術(shù)一同出售給了中國企業(yè)及研究機構(gòu),從中獲取了710億韓元,約合人民幣3.7億元的報酬。
據(jù)SEMES官網(wǎng)介紹,其SUPER CRYSTAL系列清洗機是世界第一臺超臨界設(shè)備,采用無傾斜技術(shù)(高萃取/高溶解度),具備高通量和穩(wěn)定性,能夠去除19nm的顆粒。
△Semes的晶圓清洗機
報道稱,“從2009年到2021年,SEMES在超臨界技術(shù)的研發(fā)上投入了約350億韓元,”一位檢方官員說?!斑@一泄密造成了超過350億韓元的直接損失。人們擔(dān)心,如果SEMES的訂單由于公司技術(shù)實力下降而僅下降10%,那么SEMES每年將遭受超過400億韓元(約合人民幣2.2億元)的損失。
對于具體是哪家中國企業(yè)涉及其中,相關(guān)報道及檢方披露的資料并未顯示。由此,也引發(fā)了國內(nèi)投資者的關(guān)注和猜測。去年6月1日,盛美上海在投資者互動平臺就回應(yīng)投資者提問時稱:“盛美上海及控股子公司與該事件完全無關(guān)?!?/p>
此外,這位前SEMES員工還被指控與另一名前SEMES 研究員合謀,將SEMES 于 2021年在全球第二次開發(fā)的單晶圓磷酸鹽清潔設(shè)備的信息泄露給自己離職后創(chuàng)立的公司的員工,后者也被逮捕和起訴。單晶圓磷酸鹽清洗設(shè)備用磷酸溶液逐一清洗半導(dǎo)體。它用于去除殘留在晶圓表面上的二氧化硅。
報道稱,世界上只有兩家公司成功開發(fā)了這種設(shè)備——韓國的SEMES和日本的Shibaura(芝浦)。
去年5月,這名前SEMES員工因向中國泄露SEMES濕式半導(dǎo)體清洗設(shè)備的信息而被捕并被起訴一次。去年11月,由于逮捕期屆滿,他被取保候?qū)彛瑳]有拘留,但隨著檢方發(fā)現(xiàn)額外的技術(shù)泄露案(單晶圓磷酸鹽清潔設(shè)備技術(shù)竊密),他再次被監(jiān)禁。
資料顯示,SEMES由三星電子于1993年成立,是生產(chǎn)半導(dǎo)體和顯示器制造設(shè)備的重要子公司。
目前,Semes的產(chǎn)品主要包括半導(dǎo)體前道工序領(lǐng)域的清洗(LOTUS、BLUEICE PRIME)、Phototrack(OMEGA-S、OMEGA-K)、蝕刻(Michelan O3、Michelan C4)設(shè)備,還有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等設(shè)備。
根據(jù)官網(wǎng)公布的數(shù)據(jù)顯示,SEMES在2021年全年的收入為3.12萬億韓元(約人民幣162億元),營業(yè)利潤為3533億韓元。與2020年相比,收入和營業(yè)利潤也分別增長了41%和24%。其中,晶圓廠設(shè)備占Semes的2021年收入的75%,而平板顯示設(shè)備占比1.7%。2020年,晶圓廠設(shè)備占其年收入的61.24%,而平板顯示設(shè)備占比9.9%。該公司的目標(biāo)是到2030年營收達到5萬億韓元(約合人民幣273.1億元)。
根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù)顯示,在2019年的全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場,日本迪恩士(DNS)、日本東京電子(TEL)、韓國SEMES和美國泛林集團(Lam research)分別占據(jù)了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市場。
編輯:芯智訊-浪客劍
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